先进封装，AI时代的核心技术发展与创新

逍遥设计自动化

引言
随着人工智能(AI)和高性能计算(HPC)应用的快速发展，半导体产业正面临挑战与机遇。计算能力、内存带宽和能源效率需求的持续提升，使得半导体制程不断挑战性能极限。在这个背景下，先进封装技术已经发展成为延续摩尔定律、推动半导体产业创新的核心策略。这项技术不仅能够提升芯片性能，还能实现更低的功耗和更小的外形尺寸，为AI和HPC应用提供了强有力的技术支持[1]。

( ^! S6 B" O, R; \0 Z& d; @市场分析与发展趋势
$ |3 s) A8 z4 i0 U1 I$ e根据Yole Group的最新市场调查报告，2023年全球先进封装市场规模达到392亿美元，预计到2029年将大幅增长至811亿美元，年复合增长率(CAGR)高达12.9%。在整体IC封装市场中，先进封装已占据44%的份额，其中AI和HPC应用的比重正在稳步提升。这一快速增长主要得益于数据中心、边缘计算、自动驾驶等新兴应用领域对高性能芯片的旺盛需求。特别是在生成式AI的推动下，对高性能计算和大规模并行处理能力的需求进一步提升，加速了先进封装技术的发展。

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图1：先进封装市场增长趋势(source: Yole Group)
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; i# @% q9 l. _9 W# K; i2023年，全球半导体领域的先进封装资本支出约为99亿美元。英特尔与台积电并列投资第一，各约投入32亿美元，占总投资的31%。三星紧随其后，投资约18亿美元，占比20%。随着市场需求的持续增长，2024年的投资规模预计将增加20%，达到119亿美元。这些投资主要用于扩充产能和技术研发，以满足市场对先进封装产品日益增长的需求。
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先进封装技术体系
传统的QFP、QFN等封装技术在满足基础电子产品需求方面发挥着重要作用，但随着AI和HPC应用的发展，其性能限制日益显现。先进封装技术通过创新的设计和工艺，实现了更高的集成度、更短的互连距离，从而带来显着的性能提升和功耗优化。目前，WLCSP（晶圆级芯片尺寸封装）技术通过扇出型封装(FOWLP)实现了更灵活的设计方案。其重分布层(RDL)技术允许芯片具有更多的输入输出选项，同时保持较小的封装尺寸。
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4 X9 B0 g% T! @$ \+ ^图2：主要先进封装技术(source: IDTechEx)

2.5D堆叠技术采用创新的中介层设计，实现了芯片间的高效互连。该技术主要通过硅中介层、硅桥接和RDL三种方式实现。其中硅中介层采用TSV技术实现电气连接，代表产品如台积电的CoWoS-S；硅桥接技术使用更少的硅材料，具有更薄、功耗更低的特点，如英特尔的EMIB和台积电的CoWoS-L；而RDL则通过微影制程提升速度和散热效果，适用于CoWoS-R等产品。

  Z" v8 W# ]- N* [* Y: Z- T8 t9 n3D堆叠技术则通过垂直方向的创新设计，实现了计算单元与内存之间的最短互连距离。该技术主要包括使用微凸块的TSV技术和无凸块的混合键合技术。TSV技术通过硅通孔实现垂直互连，显着提升了数据传输效率；而混合键合技术则通过结合介电材料和嵌入金属，进一步优化了互连性能。同时，光电共封装（CPO）技术作为新一代封装解决方案，在传输损耗、抗干扰能力、带宽容量和能效比方面都展现出显着优势。
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主要厂商技术布局
台积电在先进封装领域构建了完整的技术体系，其3DFabric平台包括前端3D芯片堆叠SoIC技术和后端CoWoS系列解决方案及InFO封装技术。通过CoWoS-S实现量产后，公司计划在2027年推出更先进的12个HBM堆叠的CoWoS解决方案。同时，台积电正在全球范围内扩建先进封装产能，包括在台湾建设新的先进封装厂，以及与Amkor合作在美国亚利桑那州提供先进封装服务。

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图3：台积电SoW封装技术(source: 台积电)
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英特尔在先进封装领域投入巨大，开发了EMIB、Foveros等创新技术。EMIB技术通过直接在有机基板中插入硅桥，避免了使用硅中介层与TSV的需求，有效减少了封装尺寸和信号失真。Foveros技术则支持2.5D与3D堆叠，采用TSV与硅中介层，特别适用于客户端与边缘应用场景。在新材料应用方面，英特尔正在推进玻璃基板技术的研发，这项技术可以提供更高的互连密度，将频宽从224G提升至448G。公司计划在2030年前实现玻璃基板的量产，这将为封装技术带来革命性的突破。
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图4：英特尔EMIB技术(source: 英特尔)

/ P$ Y: y$ ~: ?" h, x8 Y8 N1 g' ~7 [三星则充分利用其在存储器、逻辑芯片和晶圆代工领域的优势，开发了全面的先进封装解决方案。其I-Cube平台基于TSV和后段制程技术，支持2.5D和3D封装，实现了异质芯片的高效整合。H-Cube方案专门针对HBM集成设计，采用混合基板技术，确保了供电稳定性。而采用7纳米制程的X-Cube技术，通过TSV堆叠SRAM和逻辑芯片，显着提升了数据传输速度。
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) `/ H" K1 w, H2 c1 ~3 b+ L* _% x图5：三星先进封装技术(source: 三星）

技术趋势与未来展望
8 {5 B# B0 q- a, ]3 u" i& F边缘AI的发展正在成为推动半导体产业增长的新动力。通过将Chiplet技术与边缘计算相结合，在采用2.5D堆叠靠近计算单元的同时，使用50~12纳米的成熟制程并结合混合键合封装技术，实现了性能优化和成本控制的平衡。这种方案不仅降低了制造成本，还优化了能源效率，同时提高了产品良率。

半导体产业各环节之间的协作也日益紧密。芯片整合商与材料供应商的深度合作，工具供应商提供的专业解决方案，以及HBM/基板产业的协同发展，共同推动着3D IC技术的进步。这种全产业链的协作不仅加快了新工艺和新材料的应用，也促进了产业标准的制定。
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7 @4 J$ ]4 ^) c4 u, x. J0 ?6 L+ U结论
随着摩尔定律面临物理极限，先进封装技术已经成为推动半导体产业创新的核心力量。在全球科技企业的持续投入下，创新的封装技术不断突破技术边界，为AI与HPC等高性能应用提供了强大的硬件支持。这种创新不仅推动了半导体产业的发展，也为数字技术的未来进步提供了新的可能。通过产业链各环节的紧密协作，先进封装技术将继续引领半导体产业的创新发展，推动全球数字化转型进程。

0 n( A& n6 u. H1 ?" F参考来源
[1] S. Hong, "AI时代关键推手——先进封装开启摩尔定律新篇章," EE Times Taiwan, Nov. 25, 2024. [Online]. Available: https://www.eettaiwan.com/magazine/202411/ (accessed Dec. 7, 2024).
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$ ?) H) Q. I8 q关于我们：
, g" F; e! |+ r% g2 N) v( Z深圳逍遥科技有限公司（Latitude Design Automation Inc.）是一家专注于半导体芯片设计自动化（EDA）的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件，提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio，分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务，广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作，推动特色工艺半导体产业链发展，致力于为客户提供前沿技术与服务。
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