数字镜阵列 (DMD) 或微机电系统 (MEMS) 由一组小型矩形反射镜组成。每个镜子可以有不同的倾斜度。这些设备可用于许多应用,包括光谱学(镜子可以在不同位置发送不同波长的光)和DLP投影技术-将图像从监视器投影到大屏幕上。OpticStudio可以使用DLL对它们进行连续建模,或者使用MEMS对象对它们进行非序列建模。 作者 Michael Humphreys and Sandrine Auriol 文件下载附件下载 什么是DMD/ MEMS下图显示了一个DMD设备(https://ibsen.com/technology/spectrometer-tutorial/dmd-spectrometers/)它单独倾斜的微镜组成。镜子通常被称为像素。 如何在OpticStudio中建模DMD这些设备可以在序列或非序列模式下建模。 模式 | 对象 | 示例文件 | 序列 | User Defined Surface called us_mems.dll | {Zemax}\Samples\Sequential\Miscellaneous\MEMS DLL Sample.ZMX | 非序列 | MEMS | {Zemax}\Samples\Non-sequential\Miscellaneous\MEMS device.zmx" | , L; x; y3 f: A' A+ S" X
如何计算单个像素/镜子的旋转本节将说明如何设置单个像素的旋转。像素可以按行(在这种情况下,一行镜子将始终处于相同的状态/倾斜)、按列(在这种情况下,一列镜子将始终处于相同的状态/倾斜)或按像素单独设置。 在本节中,我们将解释如何单独设置像素,即当P-Flag参数等于2时。 MEMS可以看作是一个网格,从左下角开始,随着您向右移动,然后向上移动一排,像素数会增加。 如下这个例子,下面是一个 6x6 的网格。类似最多3750个元素的任何网格大小(有关更多信息,请参阅帮助文件)。 MEMS对象一次考虑15个像素/镜子的组。 因此,如果MEMS是 6x6 网格,则意味着它总共有36个像素,所以共有3组:2组15像素和1组6像素: 这些组将由不同的参数设置: 模式 | 行/列/镜像状态 1-15 | 行/列/镜像状态 16-30 | 行/列/镜像状态 31-45 | 组别 | 绿色 | 黄色 | 橙色 | 序列模式 | 参数14标记为“像素 1-15” | 参数15标记为“像素16-30” | 参数16标记为“像素31-45” | 非序列模式 | 标有“像素1-15”的Par 10列 | 标有“像素16-30”的Par 11列 | 标有“像素31-45”的Par 12列 |
由于每个分组都有一个基数为3的数字来告诉OpticStudio如何指向单个像素,像素的分组可以如下所示进行归一化,每个值对应于您需要将基数3提高到的幂: 每个像素可以具有对应于角度0、角度1和角度2的三个值(0、1、2)之一。 假设角度值定义为: - 角度 0 = 12°
- 角度 1 = 0°
- 角度 2 = -8°" e( l! r; ]& g( g) O
下面的网格显示了每个像素的状态: 现在,要计算行/列/镜像1-15的状态值,您需要使用以下等式: P = <span id="MathJax-Element-1-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="∑" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">∑∑(像素的角度状态*3^(像素数-1)) 需要对像素 16-30 和像素 31-45 重复此过程。 Excel宏计算像素倾斜附件中的 Excel 宏工作簿有助于计算这些值。 要运行 Excel 宏: - 点击 Table
- 然后单击MEMS按钮(确保已设置 Excel 安全性以运行宏)。
2 D8 q4 M4 ~/ q, f将出现一个用户表单,您可以在其中输入X像素和Y像素 - 然后单击创建表。如果您之前有以前的数据,您应该检查Clear Previous Table2 ~4 H8 V$ D0 u! ~ B$ k0 ?' [
然后这将填充2个表格,其中一个位于页面顶部,显示行、列、像素数和15个像素的分组,您可以将其用作指南。第二个表格,从我们的6x6示例的第13行开始(该行将根据您选择的X像素的数量而变化)是您应该输入0/1/2像素值状态的地方。 输入这些值后,单击“计算P Val”按钮。然后,宏将计算复制并粘贴到OpticStudio中所需的值: 序列模式下的MEMS让我们看一下 {Zemax}\Samples\Sequential\Miscellaneous\MEMS DLL Sample.ZMX 下的Sequential Mode示例文件 该示例文件描述了一个4x4 MEMS反射镜。 因此,该器件可以看作: & L- q; X" H/ C1 T! Y
| & s! [' z; ^5 o& C! R, Q
| Q2 e% t5 k- t1 o* d
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3 E2 D* K! j" n8 ^: K: e: v | ) X0 G# j/ ~/ G5 I3 l
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| 6 J! \% Z. L2 w Z9 b0 S! X6 |7 I' w3 t
|
现在让我们看看像素处于哪个状态。P flag = 0表示镜像按行寻址。/ b' |/ s( Y" [# @( n$ Z9 w: }5 s
参数“第 1-15 行”的值 = 5
$ Y. x* o, P8 U- y1 ?0 w参数“第 1-15 行”的值 = <span id="MathJax-Element-2-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33 )参数“Rows1−15”的值=\(Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row4" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33 )参数“Rows1−15”的值=\(Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row4Row1×30+Row2×31+Row3×32+Row4×33 )参数“Rows1−15”的值=\(Row1+3×Row2+9×Row3+27×Row40 V* i# K& e0 o, w0 p
作为参数“Rows 1-15” = 5的值,这意味着<span id="MathJax-Element-3-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row3" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row3Row3 = 0 和 <span id="MathJax-Element-4-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row4" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row4Row4 = 0$ P' ~- r' u; o i, j# M
然后我们可以推导出 <span id="MathJax-Element-5-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row2" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row2Row2 = 1和<span id="MathJax-Element-6-Frame" class="mjx-chtml MathJax_CHTML" tabindex="0" data-mathml="Row1" role="presentation" style="box-sizing: border-box; display: inline-block; line-height: 0; font-size: 18.24px; overflow-wrap: normal; word-spacing: normal; white-space: nowrap; float: none; direction: ltr; max-width: none; max-height: none; min-width: 0px; min-height: 0px; border: 0px; padding-top: 1px; padding-bottom: 1px; position: relative;">Row1Row1 = 2 像素状态定义如下: 这意味着我们有以下角度。 旋转角度为45度。初始尖端平面沿+X。然后这些角度围绕Z轴旋转以使镜子尖端。 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | -10 | -10 | -10 | -10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
所以布局显示镜子的不同部分有不同的角度: 非序列模式下的MEMS让我们看一下 {Zemax}\Samples\Non-sequential\Miscellaneous\MEMS device.zmx 下的Non-Sequential Mode示例文件 该示例文件描述了一个 1x15 MEMS反射镜。 因此,该器件可以看作: 8 _0 [# m% c2 f
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0 n! }- j, S, R' j | 3 U- @1 ^3 k* C$ X- h; Y: d
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现在让我们看看像素处于哪个状态(0,1,2)。 P flag = 2,因此这意味着镜像是单独寻址的。) C* P4 k0 h/ |/ \
参数“像素 1-15”的值= 13245761。: [% f2 e2 V5 i+ R- i
我们可以推断像素状态定义如下: 这意味着我们有以下角度。 10 | -10 | 10 | 10 | -10 | 10 | 0 | 10 | 10 | -10 | 10 | 10 | -10 | 10 | 10 | 结论MEMS可以在OpticStudio中轻松建模。
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